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聚焦双束扫描电镜
产品描述
厂家：
FEI（美国）
型号：
FEI-Scios 2 Hivac
主要参数：
1.离子束分辨小于3nm@30KV;
2.电子束分辨率：workspace<1nm@15KV，样品XY方向移动范围不低于100mm，Z方向不低于50mm，可绕Z轴旋转任意角度倾斜角T范围不小于-4到70度，换样时间低于3.5分钟。
用途及功能：
扫描电镜主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌，聚焦离子束用于样品微纳米尺度下的切割、刻蚀，能谱仪主要用于样品元素分析。
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离子减薄仪
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场发射扫描电子显微镜
