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轮廓仪
产品描述
厂家：
Bruker（USA）
型号：
ontour GT-K
主要参数：
1.测量模式：垂直扫描干涉模式VSI和相移干涉模式PSI以及 高级测量模式VXI；
2.垂直测量范围：0.1nm至10mm；
3.垂直扫描速度：可达28.1μm/s；
4.横向分辨率：0.08至13.1μm；
5.倾斜调制范围：6（Tip/Tilt）；
6.场范围：8.24mm 至0.05mm；
7.台阶测试精度：0.75%；
8.样品台移动范围：150mm (XY轴)/100mm(Z轴)。
用途及功能：
材料表面2D和3D测量；粗糙度（线粗糙度，面粗糙度），纳米 级到微米级；材料表面波纹度，翘曲度；台阶高度，宽度； 材 料表面槽深和槽宽；膜厚测量；材料表面的微观结构(体积， 角度，曲率半径等)。
