Product
仪器中心
厂家：
Bruker（德国）
型号：
Dektak XT
主要参数：
最大扫描长度≥55 mm，测试所允许的最大样品厚度≥50mm，垂直方向扫描范围≥1000μm，测试高度方向重复性≤0.4 nm（1 μm标准台阶），测试垂直分辨率≤0.1 nm
用途及功能：
主要用于薄膜材料厚度测量。可获得精确定量的台阶高度，线粗糙度，薄膜曲率半径，应力测试，表面3D形貌等测试功能。
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